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簡單介紹陶瓷壓力傳感器

發布時間:2021-12-29 14:07:01 |來源:網絡轉載

抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表 麵、室膜片的表麵,使膜片產生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背麵,連接成一個惠斯通電橋(閉橋),由於壓敏電阻的壓阻效應,使電橋產 生一個與壓力成正比的高度線性,與激勵電壓成正比的電壓信號,標準的信 號根據壓力量程的不同標定為2.0、3.0、3.3MV等,可以和應變式傳感器相兼容。通過激光標定,傳感器具有很高的溫度穩定性和時間穩定性,傳感器自帶溫度補償0℃~70℃,並可以和絕大多數介質直接接觸。
陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗衝擊和震動的材料。陶瓷的 熱穩定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度範圍高達-40℃~135℃,而 且具有測量的高精度、高穩定性。電器絕緣程度大於2KV,輸出信號強,長 期穩定性好。高特性、低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發展方向,在 歐美國家有全麵替代其他類型傳感器的趨勢,在中國越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散矽壓力傳感器稱重傳感器。
陶瓷厚膜結構與力敏Z-元件的優勢互補厚膜壓力傳感器是繼擴散矽壓力傳感器之後壓力傳感器的又一次重大的技術創新,而力敏Z-元件是目前國內外唯一具有數字信號輸出的敏感元件,因 此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的最簡單電路的巧妙結合,可以出現一種性 能優異、成本低廉的新型傳感器。具體來說,陶瓷厚膜工藝有下述優點:
陶瓷彈性體性能優良,平整、均勻、質密的材料在程度範圍內都嚴格遵循虎 克定律,無塑性變形。
厚膜電阻(包括高溫導線)能與陶瓷彈性膜片牢固地燒結在一起,不需用膠 進行粘貼。這種剛性結構蠕變小,漂移小,靜態性能穩定,動態性能好。
厚膜彈性體結構簡單,易於製備。它與擴散矽壓力傳感器相比,不需半導體 平麵工藝來形成擴散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產線的前期投入和工藝加工成本。
陶瓷厚膜結構耐液體或氣體介質的腐蝕,不需通過不鏽鋼膜片和矽油的轉換 與隔離,封裝結構簡化,進一步降低成本。
工作量程寬。量程決定於膜片的有效半徑與厚度之比,隻要微壓力不小於 1KPA,原則上較高的量程也易於實現。
工作溫度範圍寬,可達-40℃~120℃。
陶瓷厚膜力數字傳感器的結構設計
陶瓷厚膜力數字傳感器主要由瓷環、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷 膜片作為感力彈性體,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均勻、 質密,其厚度與有效半徑視設計量程而定。
瓷環采用熱壓鑄工藝高溫燒製成型。陶瓷膜片與瓷環之間采用高溫玻璃漿料 ,通過厚膜印刷、熱燒成技術燒製在一起,形成周邊固支的感力杯狀彈性體,即在陶瓷的周邊固支部分應形成無蠕變的剛性結構。在陶瓷膜片上表麵, 即瓷杯底部,用厚膜工藝技術做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽 使蓋板與膜片之間形成一定間隙,通過限位可防止膜片過載時因過度彎曲而破裂,形成對傳感器的抗過載保護。

 

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